Zentrale Dienste

Antragstellerin Professorin Dr. Doris Schmitt-Landsiedel
Fachliche Zuordnung Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung Förderung von 2000 bis 2007
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5467170
 

Projektbeschreibung

Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren Forschungsgruppen
Teilprojekt zu FOR 395:  Ausgewählte Materialien und Bauelemente für die Siliziumhöchstintegration