Laserumformung von Silizium-Mikrostrukturen als Formgebungsverfahren in der Mikrotechnologie

Die plastische Hochtemperaturumformung von Mikrostrukturelementen (MSE) ist derzeit die einzige Möglichkeit, diesen Elementen Formen zu verleihen, die durch Materialabtrag (z.B. Ätzen, Mikrobearbeitung, Laserablation) allein nicht erzielbar sind. Als Novum können die umgeformten Bereiche der Mikrostrukturelemente aus der Waferebene herausragen und neue Richtungen erhalten. die von der Arbeitsgruppe ausgeführten technolgisch orientierten Untersuchungen zur Einführung der plastischen Verformung von Silizium in die Mikrotechnik zeigen, daß eine Laserumformung von Silizium ebenfalls möglich ist. Als Vorteile für den Einsatz der Laserstrahlung zur Umformung von Silizium kommen in Betracht...

DFG-Verfahren Sachbeihilfen