Mikromechanische und elektronische Diamantanwendungen: Material und Technologie

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Erhard Kohn
• Fachliche Zuordnung: Experimentelle Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung von 2000 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5236042

Im Rahmen des bisherigen DFG-Schwerpunktes "Synthese superharter Materialien" sind viele grundlegende Untersuchungen zur Herstellung von CVD-Diamantschichten auf Si-Substraten und zu deren physikalisch/chemischer und elektrisch/optischer Charakterisierung durchgeführt worden. Dabei wurde ein Wissensstand erarbeitet, der weitgehend den Stand der Technik bestimmt. Das Hauptziel dieses Verbundantrages besteht daher darin, dieses umfangreiche Grundlagenwissen, dieses umfangreiche Grundlagenwissen, für die Entwicklung neuartiger industrieller Anwendungen einzusetzen, d.h. Demonstratoren zu realisieren, die letztendlich zu neuen Produkten führen sollen. Das Projekt hat drei Teilziele:(A) Aufbau eines Hybridprozesses zur Herstellung von großflächigen hochorientierten Diamantfilmen (HOD) mit hoher mechanischer Stabilität, geringer Netto-Verspannung und guten elektrischen und optischen Halbleiter-Eigenschaften.(B) Realisierung von n-Dotierung mit P, S etc. und pn-Diodenstrukturen.(C) Herstellung von Demonstratoren, insbesondere mikromechanischer Strukturen für die Medizintechnik (GFD), Elektrosonden für die Elektrochemie und UV-Sensoren mit spezifischem Absorptionsspektrum unterhalb der Bandkante.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen