Erhöhung der Verschleißfestigkeit von Arc-PVD-Hartstoffschichten durch prozeßgesteuerte Einstellung von Eigenspannungsgradienten

• Applicant: Professor Dr.-Ing. Eckart Uhlmann
• Subject Area: Production Technology
• Term: from 1999 to 2001
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5230116

...Vor diesem Hintergrund wird im Rahmen des Forschungsvorhabens zunächst am Beispiel von (Ti,Cr)N-Schichten eine iterative Vorgehensweise bei der Variation der Verfahrens- und Materialparameter angestrebt. Die aus dem neuen Schichtdesign resultierenden Eigenspannungen sollen dann mit Hilfe des röntgenographischen Streuvektorverfahrens analysiert werden, das speziell für die Erfassung inhomogener Spannungsverteilungen in dünnen, stark textuierten schichten entwickelt wurde. Von begleitenden GDOS- und TEM-Untersuchungen wird zusätzlicher Aufschluß über Schichtmorphologie und -aufbau erwartet. Die gewonnenen Erkenntnisse sollen dann im zweiten Schritt wiederum in die technologische Schichtkonzipierung einfließen, mit dem Ziel, eine Verbesserung des Verschleißverhaltens von Dünnschichtsystemen zu erreichen, die anhand von Modellverschleiß- und Zerspanversuchen nachzuweisen ist.

• DFG Programme: Research Grants
• Participating Person: Professor Dr. Walter Reimers