Entwicklung eines flexiblen Zweirobotersystems für die Mikrohandhabung im Rasterelektronenmikroskop

Antragsteller Professor Dr.-Ing. Sergej Fatikow
Fachliche Zuordnung Mikrosysteme
Förderung Förderung von 2000 bis 2006
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5229194
 

Projektbeschreibung

Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren Sachbeihilfen