Laterale Depositionssteuerung von Nanometerpartikeln für die Mikroelektronik

Antragsteller Professor Dr. Franz-Josef Tegude
Fachliche Zuordnung Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung Förderung von 2000 bis 2003
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5205782
 

Projektbeschreibung

Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren Sachbeihilfen
Beteiligte Person Professor Dr.-Ing. Heinz Fissan