Ionenstrahlmodifizierung von polymeren Funktionsschichten zur gezielten Einstellung von Sensorfunktionen
Fachliche Zuordnung
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung
Förderung von 1999 bis 2003
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5159006
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sachbeihilfen
