Großflächige Plasmaquellen mit Multijet-Hohlkathoden-Hochfrequenz-Entladung: Untersuchung, Modellierung und Simulation

Antragsteller Professor Dr.-Ing. Jürgen Engemann

Fachliche Zuordnung Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik

Förderung Förderung von 1998 bis 2003

Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5123426

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DFG-Verfahren Sachbeihilfen

Beteiligte Personen Dr. Dariusz Korzec; Dr. Axel Schwabedissen