Vertikal-FET in "Oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanik (C 05)

Fachliche Zuordnung Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung Förderung von 2001 bis 2004
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5479322
 

Projektbeschreibung

Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren Sonderforschungsbereiche
Teilprojekt zu SFB 379:  Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays
Antragstellende Institution Technische Universität Chemnitz
Teilprojektleiter Professor Dr.-Ing. Gunter Ebest (†)