Automatisierte Justage mit aerostatisch gelagertem Impulsantrieb für die Feinwerk- und Mikrotechnik
Applicant
Professor Dr.-Ing. Wolfgang Schinköthe
Subject Area
Microsystems
Term
from 1997 to 2002
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5090226
Project Description
No abstract available
DFG Programme
Research Grants
Participating Person
Dr.-Ing. Volker Guyenot
