Zentrales Serviceprojekt
(Z01)
Fachliche Zuordnung
Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
Förderung
Förderung von 2007 bis 2011
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 28586557
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche
Großgeräte
High resolution e-beam lithography workstation
