Kinetik und Spektroskopie von Fluor-Silizium Verbindungen

• Antragsteller: Professor Dr. Jürgen Troe
• Fachliche Zuordnung: Physikalische Chemie von Molekülen, Flüssigkeiten und Grenzflächen, Biophysikalische Chemie
• Förderung: Förderung von 2022 bis 2023
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 495852613

In diesem Vorhaben soll der thermische Zerfall einfacher Fluor-Silizium- Verbindungen mit der Stoßwellenmethode untersucht werden. Die Experimente werden von theoretischen Modellierungen begleitet. Obgleich die betrachteten Reaktionen beim Plasma-Ätzen mikroelektronischer Bauteile sowie beim Abscheiden dünner Siliziumfilme in der Praxis eine Rolle spielen, sind kinetische und spektroskopische Daten noch sehr lückenhaft. Erste Experimente zu diesem Projekt haben Hinweise auf ungewöhnliche, autokatalytische Mechanismen ergeben, die auch in der Fluor-Kohlenstoff-Chemie eine Rolle spielen können.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Internationaler Bezug: Argentinien
• Kooperationspartner: Professor Dr. Carlos J. Cobos