Einfluss der Target-Leistungsdichte auf die chemische Zusammensetzung von mittels Composite/Compound-Targets synthetisierten Dünnschichten (T05*)

• Fachliche Zuordnung: Beschichtungs- und Oberflächentechnik
• Förderung: Förderung von 2018 bis 2021
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629

Ziel ist die Entwicklung eines fundamentalen Verständnisses des Einflusses der Target-Leistungsdichte von Composite- (M-Al-C) und Compound-Targets (M2AlC mit M = Cr, Hf, Zr) auf die chemische Zusammensetzung von magnetrongesputterten Dünnschichten. Aus der Literatur ist bekannt, dass signifikante Abweichungen zwischen stöchiometrischen Target- und Schichtzusammensetzungen auftreten. Deshalb ist die Arbeitshypothese, dass nicht-stöchiometrische Composite-/Compound-Targetzusammensetzungen in der Abscheidung stöchiometrischer Nanolaminatschichten resultieren.

• DFG-Verfahren: Transregios (Transferprojekt)
• Teilprojekt zu: TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Teilprojektleiter: Professor Jochen M. Schneider, Ph.D.