Nanofabrikationsmaschine

• Fachliche Zuordnung: Systemtechnik
• Förderung: Förderung in 2018
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 398659556

Das geplante Forschungsgroßgerät Nanofabrikationsmaschine soll explizit für die Grundlagenforschung auf dem Gebiet der skalenübergreifenden AFM-spitzenbasierten und laserbasierten Nanofabrikation zur sub10nm-Strukturierung auf Flächen bis Ø100 mm dienen, um in international neue physikalische und technische Grenzbereiche der Nanofabrikation mit Subnanometerreproduzierbarkeit und -unsicherheit vorzustoßen. Sie soll damit eine wichtige Basis für die Forschungsarbeiten des DFG-Graduiertenkollegs Nano-Fab von 13 Doktoranden über drei Generationen bilden. Mit Hilfe dieses Gerätes sollen neue leistungsfähige Nanostrukturierungsverfahren entwickelt und wissenschaftlich untersucht werden. Das Gerät ist international einzigartig, vorbildfrei. Es ermöglicht dem DFG-Graduiertenkolleg die Fortführung der langjährigen Grundlagenforschung in einem zukunftsträchtigen Forschungsgebiet auf höchstem Niveau. Ein derartiges Gerät existiert gegenwärtig weltweit nicht. Es vereint in bester Weise die Expertisen internationaler Alleinstellungmerkmale der fasergekoppelten Laserinterferometer, der planaren Präzisionsantriebe und der hochauflösenden lithographischen AFM-Technik.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Nanofabrikationsmaschine
• Gerätegruppe: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Eberhard Manske