Laserlithographiesystem zur dreidimensionalen additiven Mikro- und Nanofertigung

• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: Funded in 2017
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 384724422

Für geplante Forschungsarbeiten im Bereich der Nano- und Quantenphotonik, der Zellmechanik und für die Realisierung neuartiger Template für Zellkulturen ist ein Laserlithographiesystem (LLS) zur Herstellung dreidimensionaler Mikro- und Nanostrukturen erforderlich. Das LLS soll für interdisziplinäre Arbeiten in den Fachbereichen Physik, Biologie, und Medizin eingesetzt werden und die bestehenden Möglichkeiten zur planaren Lithographie in die dritte Dimension erweitern. Im Rahmen der Neuberufung von Prof. W. Pernice und dem strategischen Ausbau der Nanowissenschaften an der Universität Münster soll das LLS beschafft werden, um die Arbeitsfähigkeit der Gruppe zu gewährleisten und den Schwerpunkt Nanophysik zu stärken. Insbesondere für die geplanten Arbeiten im Bereich der Nanophotonik ist eine räumliche Auflösung unterhalb von einem Mikrometer essentiell, sowie eine hohe Schreibgeschwindigkeit um auch makroskopische Strukturen mit feinen Abmessungen realisieren zu können. Momentan ist an der WWU kein vergleichbares Gerät verfügbar so dass bisher nur planare Nanostrukturen großflächig herstellbar sind. Mittels des LLS sollen insbesondere hybride Systeme realisiert werden, die Nanostrukturen auf mehreren Substraten zu komplexen Systemen kombinieren. Darüber hinaus ist es ein zentrales Anliegen durch dreidimensionale Nanostrukturen neue Forschungsfelder im Bereich der weichen Nanowissenschaften über die Fachbereichsgrenzen hinaus zu erschließen. Das Neugerät soll im Betrieb innerhalb des Reinraums des Zentrums für Nanotechnologie (CeNTech) einem breiten Nutzerkreis zugänglich gemacht werden.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Laserlithographiesystem zur dreidimensionalen additiven Mikro- und Nanofertigung
• Instrumentation Group: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Applicant Institution: Universität Münster
• Leader: Professor Dr. Wolfram Hans Peter Pernice