Ultraschallmikroskop

• Fachliche Zuordnung: Materialwissenschaft
• Förderung: Förderung in 2017
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 369895358

Für die Untersuchung von mikroelektronischen Baugruppen wird eine zerstörungsfreie Prüfung benötigt, um die Prozessentwicklung zu unterstützen bzw. die Prozesse zu optimieren. Im Bereich Zuverlässigkeitsanalyse wird eine Methode benötigt um Schadensbilder nach Umwelttests bzw. Feldeinsatz zu analysieren. Die Ultraschallmikroskopie bietet im Vergleich zur bereits bestehenden Mikro Computer Tomographie die Möglichkeit auch kleine Spalte, Lufteinschlüsse und insbesondere Delaminationen an Grenzflächen zu untersuchen, welche durch Cl-Verfahren aufgrund der 3D-Visualisierung nicht möglich sind. Am IFM der Universität Stuttgart werden insbesondere Verkapselungsverfahren im Bereich Duroplastspritzguss und Transfermaiding entwickelt, welche auf eine Untersuchungsmethode zur Prozessqualifikation und Analyse der Zuverlässigkeit der entwickelten Verfahren angewiesen sind. Darüber hinaus werden durch die Ultraschallmikroskopie eine Vielzahl von Prozessen der Mikromontage, u.a. Flip-Chip-Bonden, unterstützt und dadurch eine verbesserte Prozessentwicklung ermöglicht.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Ultraschallmikroskop
• Gerätegruppe: 5092 Ultraschall-Mikroskope
• Antragstellende Institution: Universität Stuttgart
• Leiter: Professor Dr.-Ing. André Zimmermann