Project Details
Projekt
Neuartige räumlich strukturierte Testproben für die Bestimmung der Abbildungsqualität und die Kalibrierung der Längenskala in der Rastersondenmikroskopie (2)
Applicant
Professor Wolfgang Unger, Ph.D.
Subject Area
Microsystems
Term
from 2006 to 2011
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 31928214
Die Abbildung und Analyse nanoskaliger Strukturen ist von entscheidender Bedeutung für die Herstellung von Mikrosystemen und Nanostrukturen. Dabei wird die Qualität der Abbildung wesentlich durch das Auflösungsvermögen der verwendeten Geräte bestimmt. Für die Ermittlung, Optimierung und qualitätssichernde Kontrolle der Bildauflösung sowie zur Kalibrierung der Längenskala werden geeignete Testproben benötigt. Es wird vorgeschlagen, in einem Projekt räumlich strukturierte Testproben mit Strukturbreiten zwischen 1 nm und 100 nm für die Charakterisierung und kontinuierliche Kontrolle von Rastersondenmikroskopen (SPM) zu entwickeln und herzustellen. Damit wird erstmals ein System regelmäßiger geometrischer Merkmale geschaffen, dessen Elemente Dimensionen zwischen den Abmessungen des Kristallgitters (< 1nm) und den Abmessungen von lithographischen Strukturen (> 50 nm) aufweisen. Auf der Grundlage dieser Strukturen werden Verfahren zur Bestimmung der lateralen Auflösung und zur Charakterisierung der Sondenspitze entwickelt, erprobt und bezüglich ihrer Messunsicherheit auf der Grundlage des GUM charakterisiert. Diese Verfahren dienen der Qualitätssicherung in der Rastersondenmikroskopie und ermöglichen damit den Einsatz dieser Geräte in der kontinuierlichen Produktionsüberwachung.
DFG Programme
Priority Programmes
