Schwerteilchenprozesse in Hochleistungsplasmen (C08)

Unter Weiterentwicklung der in der zweiten Förderperiode erarbeiteten Modelle zum Schwerteilchentransport in Hochleistungsplasmen, widmet sich dieses Teilprojekt nun einer konsistenten und durchgängigen Beschreibung der Schwerteilchenprozesse unter Berücksichtigung der inhärenten Oberflächeninteraktionen und ihrer Rückwirkung (d.h. vom Target über den Transport bis zum Substrat). Es werden zwei komplementäre Ansätze verfolgt: i) Das bestehende Modell der Gasphase wird um reaktive Vorgänge erweitert; ii) Die Wechselwirkung zwischen Plasma und Oberfläche (bis hin zu Ti-Al-O-N) wird selbstkonsistent mittels klassischer Molekulardynamik untersucht und an das Modell der Gasphase zurückgekoppelt. Zusammen mit experimentellen Ergebnissen ermöglicht dies eine vereinheitlichte, synergetische Untersuchung der Prozesse.

DFG-Verfahren Transregios

Teilprojekt zu TRR 87:  Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten

Antragstellende Institution Ruhr-Universität Bochum

Teilprojektleiter Professor Dr.-Ing. Thomas Mussenbrock; Professor Dr.-Ing. Jan Trieschmann, seit 7/2018