Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) mit Focused Ion Beam (FIB) Zweistrahlsystem

• Subject Area: Materials Engineering
• Term: Funded in 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 251567583

Das Zweistrahlsystem mit Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) und Focused Ion Beam (FIB) soll zur Untersuchung der Mikrostruktur-Eigenschaftsbeziehung von Hochleistungswerkstoffen mit dem Ziel, die Effizienz von Werkstoffen und Prozessen zu steigern, eingesetzt werden. Charakteristisch für viele dieser Werkstoffe ist es, dass die relevanten Strukturgrößen im Bereich weniger Nanometer liegen. Ebenso spielen die Eigenschaften von Grenzflächen bei neuen Werkstoffen eine zentrale Rolle. Dies erfordert daher den Einsatz von hochauflösenden elektronenoptischen Untersuchungsverfahren und eine entsprechende hochgenaue Zielpräparation mittels eines fokussierten Ionenstrahls. Die erforderliche Abbildungsleistung im Nanometer-Bereich kann nur durch ein Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop erreicht werden, und die Zielpräparation, die in der gleichen Größenskala erfolgen muss, macht den in-situ-Einsatz eines Focused Ion Beam zwingend erforderlich. So können dann auch zielpräparierte TEM-Lamellen (Transmissions-Elektronenmikroskop) hergestellt und eine 3D-Analytik (Energiedispersive Röntgen¬spektroskopie EDX und Electron Backscatter Diffraction EBSD) durchgeführt werden.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) mit Focused Ion Beam (FIB) Zweistrahlsystem
• Instrumentation Group: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Applicant Institution: Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
• Leader: Professor Dr.-Ing. Hans Jürgen Maier