Zweistrahl Focused Ion Beam-Rasterelektronenmikroskop

• Subject Area: Systems Engineering
• Term: Funded in 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 246588316

„Die Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme beschäftigt sich mit der Entwicklung experimenteller und numerischer Methoden zur Lebensdauervorhersage auf Basis der Physik der Fehlermechanismen. Grundvoraussetzung dafür ist eine leistungsfähige, technologieoffene und hochauflösende Fehleranalytik mit Möglichkeiten der in situ Nanomanipulation. Genau dieses wird mit dem hier beantragten Zweistrahlgerät FIB/REM ermöglicht, da es aus einer funktionalen Einheit von Elektronenmikroskop, fokussierender lonenstrahltechnik, Nanomanipulator und Materialanalytik besteht. Erst durch diese Kombination kann überhaupt die Zuverlässigkeit von Werkstoffverbünden von integrierten, hochminiaturisierten und heterogenen Systemen bewertet und vorhersagt werden. Das Gerät steht in Zusammenhang mit der Berufung des Antragstellers auf die neu geschaffene Professur und stellt das erste beantragte Großgerät dar. Es ist als Grundausstattung für die Ausrichtung und den Erfolg der Professur in Forschung, Lehre und Projektbearbeitung in den nächsten Jahren unerlässlich. Das Gerät verfügt über die geforderte Leistungsfähigkeit, Universalität und die notwendigen Alleinstellungsmerkmale und liegt strategisch auf einer Linie mit der fachlichen Ausrichtung der Fakultät. Das beantragte Zweistrahlgerät ist ein genau nach der Vorstellung des Antragstellers ausgestattetes, komplett runderneuertes Demogerät der obersten Leistungsklasse mit einem hervorragendem Preis/Leistungsverhältnis.“

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Zweistrahl Focused Ion Beam-Rasterelektronenmikroskop
• Instrumentation Group: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Applicant Institution: Technische Universität Chemnitz
• Leader: Professor Dr.-Ing. Bernhard Wunderle