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Hochvakuumbeschichtungsanlage

Subject Area Optics, Quantum Optics and Physics of Atoms, Molecules and Plasmas
Term Funded in 2013
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 246256206
 
Das Forschungsgebiet des Lehrstuhls Angewandte Optik / Integrierte Quantenoptik liegt in der Erforschung von Quanten-Lichtzuständen, sowie deren Anwendungen in optisch basierten Quanten-Technologien, insbesondere für Quantenkommunikation und Quanten-Informationsverarbeitung. Schlüsselbauelemente sind integriert nichtlinear optische Wellenleiterstrukturen in LiNbO3 und KTP, die Endflächenbeschichtungen mit maßgeschneiderten Filtercharakteristiken erfordern für die verlustarme Extraktion der erwünschten Frequenzkonversionsprodukte bzw. für die Brillanzerhöhung parametrischer Fluoreszenz durch Resonanzüberhöhung. Die bisher eingesetzte, 23 Jahre alte Hochvakuumbeschichtungsanlage ist inzwischen sehr reparaturanfällig und den Anforderungen für solche komplexe dielektrische Beschichtungen nicht mehr gewachsen. Sie soll deshalb stillgelegt und durch eine neue Anlage für Ionen-unterstütztes reaktives Aufdampfen ersetzt werden. Simultanbetrieb beider Elektronenstrahlverdampfer soll die Herstellung von „Rugate“-Filtern mit Gradientenindexverlauf ermöglichen. Tiegelantrieb und programmierbare Strahlwobbelung sollen den Materialabtrag homogenisieren und so eine langzeitstabile Abdampfcharakteristik ermöglichen. Eine Reaktivgas-taugliche filamentlose HF-Ionenquelle mit geregelter Neutralisation soll durch langzeitstabilen Überlapp zwischen Dampfstrahl und Ionenstrahl die Reproduzierbarkeit bei den dispersiven Eigenschaften der Schichtmaterialien sowohl am Probenort als auch am Testglasort (indirektes optisches Monitoring) entscheidend verbessern.
DFG Programme Major Research Instrumentation
Major Instrumentation Hochvakuumbeschichtungsanlage
Instrumentation Group 0920 Atom- und Molekularstrahl-Apparaturen
Applicant Institution Universität Paderborn
 
 

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