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Projekt
HF-MEMS-Bauelemente, M-Systeme und Hybridintegration
Antragsteller
Professor Dr.-Ing. Martin Hoffmann
Fachliche Zuordnung
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung
Förderung von 2012 bis 2020
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 169536409
Teilprojekt 6 befasst sich mit der Realisierung elementarer HF‐MEMS‐Bauelemente auf dem neuartigen SiCer‐Substrat. Der Forschungsbedarf gründet sich insbesondere auf die Kombination funktionsintegrierter HF‐Komponenten auf Basis von Si‐MEMS mit einem geeigneten Basissubstrat. Um gleichzeitig Entwurfsregeln von Keramik‐basierten Schaltungsträgern (LTCC) und der Silicium‐Technologie berücksichtigen zu können, wird eine neue Prozessführung erforscht, die den technologischen und anwendungsspezifischen Anforderungen der Forschergruppe MUSIK gerecht wird. Dies gelingt auf der technologischen Seite im Verbund mit Teilprojekt 7, das sich mit der HF‐orientierten Entwicklung des SiCer‐Substrates beschäftigt, und mit den Teilprojekten 1 bis 5, die die funktionalen Vorgaben für die MEMS‐Funktionalität definieren und verifizieren. Neben der prozesstechnischen Erfahrung im Umgang mit Silicium und der Beteiligung an der Entwicklung des SiCer‐Substrates bringt das Fachgebiet des Antragstellers einen umfangreichen Forschungshintergrund in der MEMS‐Aktorik in die Forschergruppe ein. Zu beachten ist dabei insbesondere die Wechselwirkung von niederfrequenten Steuerungssignalen (z.B. Schalter) mit dem verlustarm zu übertragenden HF‐Signal. In der ersten Phase werden Entwurfs‐ und Prozessregeln für HF‐MEMS‐Komponenten auf SiCer‐Substraten erstellt, die für die Vollintegration komplexer MEMS‐basierter HF‐Schaltungen geeignet sind.
DFG-Verfahren
Forschungsgruppen
