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Spektralellipsometer

Subject Area Condensed Matter Physics
Term Funded in 2011
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 216381968
 
Mit der Wiederbesetzung des Lehrstuhls Materialphysik erfolgt eine Neuausrichtung des Forschungs-profils in Richtung der optischen Spektroskopie von Halbleiterstrukturen. Der Bestimmung der absorptionskorrelierten Eigenschaften mittels Elipsometrie im mittleren infraroten Spektralbereich, d.h. der komplexen (anisotropen) dielektrischen Funktion und ihrer Interpretation im Hinblick auf Bandstruktureigenschaften und Phononeneigenschaften, kommt dabei eine wichtige Rolle zu. Mit dem anzuschaffenden Gerät soll Bereich von 2 μm bis 40 μm erfasst werden. Dies erlaubt die Bestimmung der Phononenfrequenzen wichtiger Halbleiter (besonders Nitride für die Optoelektronik und Photonik), der freien Ladungsträgerdichten und Beweglichkeiten über die gekoppelten Phononen-Plasmonen-Schwingungen, der Bandlücken schmalbandiger Halbleiter oder der Intersubband-Absorption in Su-pergittern. Weiter Gebiete schließen die optischen Untersuchungen an organischen Verbindungen, an funktionalisierten Oberflächen für die Sensorik ein. Infrarot-Ellispometrie findet außerdem Anwendung bei der Ermittlung von Dicken freistehender smektischer Filme, dem Nachweis der Orientierung in flüssigen Kristallen unter Feldeinfluss oder der Untersuchung von Verankerungsvorgängen dünner Schichten auf strukturierten Substraten.
DFG Programme Major Research Instrumentation
Instrumentation Group 5360 Meßgeräte für gestreutes und reflektiertes Licht, optische Oberflächen-Prüfgeräte
 
 

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