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Spektralellipsometer

Subject Area Condensed Matter Physics
Term Funded in 2011
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 214808286
 
Mit der Wiederbesetzung des Lehrstuhls Materialphysik erfolgt eine Neuausrichtung des Forschungs-profils in Richtung der optischen Spektroskopie von Halbleiterstrukturen. Der Bestimmung der absorptionskorrelierten Eigenschaften mittels Ellipsometrie, d.h. der komplexen (anisotropen) dielektrischen Funktion und ihrer Interpretation im Hinblick auf Bandstruktureigenschaften, kommt dabei eine tragende Rolle zu. Mit dem anzuschaffenden Gerät werden über einen großen Spektralbereich die Interband-Übergänge erfasst. Im langwelligen schließt sich Infrarot-Ellipsometrie an. Die Daten im hochenergetischen Bereich werden durch Synchrotron-Messungen (BESSY) vervollständigt, auch wird zukünftig eine Kopplung von Ellipsometrie mit Synchrotron-Photolumineszenz-Anregungs¬spektros¬kopie realisiert. Zudem erfolgt eine Kopplung mit Elektronen-Energie-Verlustspektroskopie. Mehr anwendungsbezogene Fragen sind z.B. die hochpräzise Bestimmung der optischen Konstanten von Schichten für Nitrid-basierte Solarzellen sowie für Wellenleiterstrukturen oder Bragg-Spiegeln, wie sie für die Optimierung lichtemittierenden Dioden oder von Lasern benötigt werden. Die Untersuchung des Einflusses elektrischer Felder auf die dielektrische Funktion mittels Ellipsometrie und der Nachweis der Modifizierung der Oberflächenfelder stellen weitere Projekte dar.
DFG Programme Major Research Instrumentation
Instrumentation Group 5360 Meßgeräte für gestreutes und reflektiertes Licht, optische Oberflächen-Prüfgeräte
 
 

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