Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop

• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: Funded in 2012
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 214139603

„Die Zentraleinrichtung Elektronenmikroskopie der TU Berlin befasst sich mit methodischen Entwicklungen im Bereich der Raster-Elektronenmikroskopie (SEM) und ist über Kooperationen mit den Fachgebieten der TU Berlin aktiv an der aktuellen Forschung an nanostrukturierten Materialien beteiligt. Dabei ergeben sich immer höhere Anforderungen an die erreichbare Auflösung, die Oberflächensensitivität und die Ausnutzung weiterer Kontraste wie dem Potentialkontrast insbesondere an schwierigen Proben, die gering streuen, nicht leitfähig oder strahlenempfindlich sind. Durch methodische Entwicklungen soll an diesen Proben allgemeingültig untersucht werden, mit welchen Bedingungen der Anregung und der energie- und winkelselektiven Detektion von SE- und BSE-Elektronen welche Probeneigenschaften (Topografie, Oberflächenschichten, Elementverteilung und Kristalleigenschaften) klar getrennt gemessen werden können. Dazu ist das beantragte SEM mit verbesserter Auflösung bei kleinen Anregungsenergien (low-kV-SEM) und verbessertem Detektorsystem für klar getrennte Signale erforderlich. Diese Ergebnisse sollen vor allem angewendet werden auf anorganische, nichtleitende oder strahlungsempfindliche Nanopartikel und -Strukturen der Katalyseforschung des Exzellenzclusters UniCat, auf die Analyse von Core-Shell-Strukturen von Nanopartikeln, auf TEM- und AFM-ergänzende Analysen von Defekten an freitragenden Graphen und Nanoribbons und auf Analysen der Dotierung von Halbleitern, die TEM-Holographiemessungen der AG Lehmann im Rahmen des SFB 787 ergänzen.“

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Applicant Institution: Technische Universität Berlin
• Leader: Professor Dr. Michael Lehmann