UV-Nanoimprint Lithographie Einheit
Final Report Abstract
Gleichzeitig zu der Bewilligung dieses Großgerätes zur Nanoimprint-Lithographie wurde in der Arbeitsgruppe des Antragsstellers noch ein Forschungsprojekt der BMBF Fachhochschulinitiative FHprofUnt 2011 genehmigt. Zudem wurden weitere Drittmittelprojekte erfolgreich eingeworben (EU-ITN Projekt im 7. Rahmenprogramm und ein Industrieprojekt mit relativ großem Volumen über drei Jahre). Zum Start der Nanoimprint-Lithographie wurde außerdem noch ein FH-internes Projekt gefördert, bei dem zwei Mitarbeiter über zwei Jahre eingestellt und in der Technik geschult werden konnten. Dieser Erfolg auf der Projektseite, der sich schon in der Planungs- und Installationsphase abzeichnete, veranlasste die Hochschulleitung, eine professionelle Installation der Anlage in einer eigens dafür vorgesehenen, hochreinen Laminarflow-Box im Reinraum zu ermöglichen. Zusätzlich konnte auch in der AG Saumer ein FHprofUnt Projekt eingeworben werden, das gemeinsam mit dem Mitantragssteller Prof. Schäfer bearbeitet wird. Somit sind zum Berichtszeitpunkt Mitte 2015 insgesamt 7 kooperative Promotionen mit der direkten Nutzung der Anlage beschäftigt. Die neue Technologie hatte insgesamt eine starke strategische Auswirkung auf die neuen Forschungsthemen im Fachbereich. Der Studiengang ‚Mikrosystemtechnik‘ wurde schon in der Antragszeit zu diesem Großgerät in ‚Mikro- und Nanotechnologie‘ umbenannt. Die Möglichkeit zur Nanostrukturierung von Oberflächen wird von drei Arbeitsgruppen an der Hochschule Kaiserslautern intensiv genutzt. Diese neuen Themen wirken auch auf weitere Bereiche des Forschungsschwerpunkts ‚Integrierte Miniaturisierte Systeme‘ und haben in der Folgezeit dazu geführt, dass weitere Großgeräteanträge erfolgreich waren. Es wurde zeitgleich mit der Nanoimprint-Anlage ein neues, modernes Elektronenmikroskop in Zweibrücken installiert. Es wird zurzeit ein zusätzliches Rasterkraft-Mikroskop angeschafft und Prof. Ingebrandt war im letzten Jahr mit einem Antrag in der Förderrunde fh-invest erfolgreich. Über dieses neue Projekt wird aktuell eine Kombination von Ramanmikrokop und Rasterkraftmikroskop zur chemischen und topographischen Charakterisierung von Nanomaterialien und Nanooberflächen angeschafft. Somit sind der Fachbereich und der Forschungsschwerpunkt mit modernen, sich thematisch ergänzenden Großgeräten für zukünftige Projekte in diesem Bereich sehr gut aufgestellt. Die Ende 2011 installierte Nanoimprint-Lithographie Anlage war zu dieser sehr positiven Entwicklung der Auftakt.
Publications
- PSPICE model for silicon nanowire field-effect transistor biosensors in impedimetric measurement mode. physica status solidi (a), (2013), 210, 5, 870–876
T. C. Nguyen, X. T. Vu, M. Freyler, S. Ingebrandt
(See online at https://doi.org/10.1002/pssa.201200919) - Handheld readout system for field-effect transistor biosensor arrays for labelfree detection of biomolecules. physica status solidi (a), (2015), 212, 6, 1313– 1319
T. C. Nguyen, M. Schwartz, X. T. Vu, J. Blinn, and S. Ingebrandt
(See online at https://doi.org/10.1002/pssa.201431862)
