Simulationen technischer Plasmen im Frequenzbereich von DC bis MW (C04)

• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2010 bis 2022
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629

Die Entwicklung eines innovativen energieerhaltenden impliziten Particle-in-Cell (PIC) Verfahrens in der zweiten Phase des Teilprojektes hat die präzedenzlose Möglichkeit eröffnet, alle in Rahmen des SFB untersuchten Plasmaarten kinetisch, nichtlokal, und selbstkonsistent zu simulieren. In der dritten Phase werden sowohl auf diesem Schema basierende und massiv auf Grafikkarten parallelisierte PIC Codes, als auch auf fluiddynamischen Modellen aufbauende Verfahren genutzt, um zum Grundverständnis der physikalischen Prozesse in den experimentellen Plasma-Anlagen beizutragen und darüber hinaus die jeweiligen Plasmaprozesse besser zu kontrollieren und verschiedene Parameter zu optimieren. Die Dünnfilmdeposition in den entsprechenden Anlagen wird auch modelliert, wobei die Plasmamodelle mit Schichtwachstumsmodellen integriert werden.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Ralf-Peter Brinkmann, bis 6/2018; Dr. Denis Eremin, seit 7/2014; Professor Dr.-Ing. Thomas Mussenbrock, bis 6/2014