Kontrolle der Permeation von Nanokompositmaterialien (B02)

• Fachliche Zuordnung: Kunststofftechnik
• Förderung: Förderung von 2010 bis 2022
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629

Das Ziel ist die Untersuchung des Erzeugungsprozesses von Nanokomposit-Permeabilitätsschichten aus Nanopartikeln (NP) in Plasma- oder ALD-erzeugten Matrixschichten sowie die Erforschung ihrer Eigenschaften. Die Kontrolle der Porosität des abgeschiedenen Nanokompositsfilms erfolgt durch die Kombination einer Plasmabasierten NP-Abscheidungsquelle (Si- oder C-NP) mit einer 2. Plasmaquelle für die Nanopartikelbehandlung und die Deposition einer Matrixschicht (aus SiO2, a-Si:H oder a-C:H). Zudem werden dicke Schichten aus NP (mehrere 10 nm) mittels PE-ALD nachbehandelt. Dies erlaubt eine ausgezeichnete Steuerung der Porengröße aufgrund der Submonolayerdicke und des konformen Wachstums der abgeschiedenen PE-ALD-Schicht erlaubt.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Teilprojektleiter: Professor Jan Benedikt, Ph.D., von 7/2014 bis 6/2018; Dr. Marc Böke; Professor Dr. Jörg Winter, bis 6/2014