Neuartige CSD-Prozessrouten mit mizellaren Hybridlösungen zur Deposition dielektrischer Schichten mit maßgeschneiderter, nanoskaliger Heterogenität

Ziel der Untersuchungen des vorliegenden Forschungsvorhabens ist die Herstellung und das wissenschaftliche Verständnis von Keramikschichten im Dickenbereich von 0,1 (im bis 3 (im, welche eine maßgeschneiderte, nanoskalige Gefügeheterogenität zur Steuerung der dielektrischen Eigenschaften aufweisen. Um diese bisher nicht ökonomisch und technologisch erschließbare Schichtdicken- Eigenschafts-Lücke zu schließen, sollen in diesem Vorhaben durch Kombination von molekularen Precursor-Lösungen einer Zusammensetzung mit molekular definierten, mizellaren Suspensionen von nanoskaligen Keramikpartikeln einer gezielt anderen Zusammensetzung zunächst chemisch stabile, neuartige ¿Hybridlösungen hergestellt werden. Nach Abscheidung über einen modifizierten CSD-Prozess mit anschließendem Ausbrand der organischen Matrix, sollen mit wenig Beschichtungsschritten Nanokomposite mit möglichst hoher Dielektrizitätszahl bei gleichzeitig kontrolliertem Temperaturgang im oben genannten Schichtdickenbereich präpariert und morphologisch, sowie elektrisch charakterisiert werden. Die Hybridlösungen sollen gezielt auf ihr Zersetzungs- und Phasenbildungsverhalten hin untersucht werden, um in der zweiten Projekthälfte ein experimentell gestütztes Modell für den Phasenbildungsmechanismus und die daraus resultierenden Eigenschaften abzuleiten.

DFG-Verfahren Schwerpunktprogramme

Teilprojekt zu SPP 1181:  Nanoskalige anorganische Materialien durch molekulares Design: Neue Werkstoffe für zukunftsweisende Technologien