Eine, für die Forschungsziele des Antragstellers adäquate, PECVD/PVD-Dual-Beschichtungsanlage wurde in Zusammenarbeit mit einem Industriepartner konzipiert, die durch den Einsatz von sogenannten kalten Plasmen die Funktionalisierung von vielfältigen Substraten, bei vergleichbar geringen Temperaturen ermöglicht. So konnte bereits in ersten Versuchen gezeigt werden, dass auch temperaturempfindliche Substarte, wie z.B. Polymere oder sogar zuckerbasierte Schäume zerstörungsfrei beschichtet werden können. Durch die einzigartige Kombination von PVD- und PECVD-Methoden ist es möglich neuartige Kompositmaterialien abzuscheiden, die Anwendung in einer Vielzahl von Bereichen finden können. Darunter Photovoltaik, Sensorik, Katalyse (z.B. durch Infiltration von metallischen Nanokristallite (Pt, Pd, Au) in poröse metallische (Ni-Schäume) oder nicht metallische (Karbonisiertes Holz) Substrate) oder die Erzeugung von Wasserstoff durch photokatalytische Spaltung von Wasser. Durch die große Bandbreite an Anwendungsgebieten, der mit dieser Anlage abgeschiedenen Schichten, ergeben sich gute Möglichkeiten zur Kooperationen, sowohl universitätsintern, als auch mit Wirtschaftsunternehmen. Der bisherige Forschungsschwerpunkt lag in den vergangen Jahren auf zwei Gebieten, zum Einen die Darstellung und Optimierung halbleitender metalloxidischer dünner Schichten zur photokatalytischen Wasserstoffgewinnung und zum Anderen die Abscheidung von neuartigen Kohlenstoff-Metall Kompositmaterialien als Korrosionsschutzschicht. Solche kostengünstige Beschichtungen können z.B. Anwendung in Brennstoffzellen finden und so eine entscheidende Rolle für den Einsatz von Wasserstoff als umweltfreundlichen Treibstoff spielen. Außerdem wurden plasma assistierte Ätzverfahren entwickelt um Nanostrukturen durch Behandlung in Wasserstoffplasmen nachträglich zu modifizieren und so u.a. die katalytischen und sensor Eigenschaften zu verbessern.