Helium Ionen Mikroskop

• Subject Area: Physical Chemistry
• Term: Funded in 2010
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 153171698

„Die Entwicklung neuartiger Mikroskope und Mikroskopietechniken ermöglicht oftmalsFortschritte in der Nanotechnologie. Ein Helium Ionen Mikroskop verwendet einen feinfokussierten Helium Ionen Strahl zum Abrastern einer Probe. Dies bringt mehrere Vorteile:Zum einen lässt sich ein He+-Strahl feiner fokussieren als Elektronen, so dass man eine sehrhohe Auflösung erreicht. Zum anderen reagieren He+ spezifisch mit dem zu untersuchendenMaterial und man beobachtet deutlichen Materialkontrast. Durch die Detektion rückgestreuterIonen wird auch eine chemische Materialanalyse chemical imaging möglich. FokussierteHelium Strahlen erlauben die lithographische Strukturierung sehr empfindlicher und dünnerProben, z. B. von Graphene. Die Universität Bielefeld möchte ein Helium Ionen Mikroskopanschaffen, um den Einsatz von Helium Ionen in Mikroskopie und Lithographie zu erkunden.Dazu wird eine Kooperation mit dem Hersteller geschlossen, in der neue Anwendungen derHe+ Mikroskopie, insbesondere Lithographie, Beam induced chemistry, magnetischeAbbildung, Abbildung von Biomaterial, getestet werden.“

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 5160 Elektronenbeugungs-Apparaturen, LEED-, RHEED-, SHEED-Apparaturen
• Applicant Institution: Universität Bielefeld
• Leader: Professor Dr. Armin Gölzhäuser