Rastertransmissionselektronenmikroskopie bei niedrigen Elektronenenergien: Grundlegende Prinzipien, Modellierung und Quantifizierung

• Antragstellerin: Professorin Dr. Dagmar Gerthsen
• Fachliche Zuordnung: Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
• Förderung: Förderung von 2009 bis 2020
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 146004699

Ziel des Projektes sind grundlegende Untersuchungen zur Kontrastentstehung in der Rastertransmissionselektronenmikroskopie (STEM) bei Elektronenenergien ≤ 30 keV. Diese Energien sind in Rasterelektronenmikroskopen üblich, die seit einigen Jahren mit STEM Detektoren zur Untersuchung elektronentransparenter Proben ausgestattet werden können. Die erzielbare Auflösung von besser als 1 nm ist für viele Fragestellungen in den Lebenswissenschaften, der Materialforschung und Nanotechnologie vollkommen ausreichend, so dass sich Untersuchungen in einem Transmissionselektronenmikroskop erübrigen und STEM in einem Rasterelektronenmikroskop eine kostengünstige Alternative zu STEM in Transmissionselektronenmikroskopen darstellen kann. Ein weiterer Vorteil niedriger Elektronenenergien ist vernachlässigbare Verlagerungsschädigung, die die Untersuchung vieler Probenmaterialien bei TEM Energien erschwert oder sogar verhindert. Im Rahmen des Projektes soll insbesondere das Potential zur Quantifizierung von STEM Intensitäten bezüglich Zusammensetzungen und Probendicke ausgelotet werden. Quantifizierungen erfordern eine realistische Modellierung von STEM Intensitäten. Berechnete STEM Intensitäten sollen deshalb anhand von Messergebnissen an Referenzproben mit bekannten Eigenschaften evaluiert werden.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Beteiligte Person: Dr. Erich Müller