Non-thermal, reactive atmospheric pressure plasma jet (B12)

• Subject Area: Optics, Quantum Optics and Physics of Atoms, Molecules and Plasmas
• Term: from 2009 to 2017
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5486308

Im Projekt wird die raum-zeitliche Entladungsentwicklung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-Plasmajets sowie seine Kinetik während der plasmagestützten chemischen Dampfphasenabscheidung (PE-CVD) von SiOx-Schichten experimentell untersucht. Im Mittelpunkt steht die Untersuchung der niederfrequenten Entladungsdynamik und der Strukturierung der Mikroentladungen unter laminaren Strömungsverhältnissen. Die mikroskopischen Plasmaparameter werden mittels spektroskopischer Methoden erfasst und in Kooperation mit gekoppelt mit einer hydrodynamischen Modellierung.

• DFG Programme: CRC/Transregios
• Subproject of: TRR 24: Fundamentals of Complex Plasmas
• Applicant Institution: Universität Greifswald
• Co-Applicant Institution: Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V. (INP)
• Project Heads: Dr. Rüdiger Foest; Professor Dr. Rainer Hippler, until 6/2013; Professor Dr. Klaus-Dieter Weltmann