Reduzierte kinetische Modelle für die Abscheidung von Kohlenstoff aus der Gasphase
(A 04)
Fachliche Zuordnung
Theoretische Chemie: Moleküle, Materialien, Oberflächen
Förderung
Förderung von 2005 bis 2007
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5482225
Gegenstand dieses Teilprojektes sind Modellreduktionsstrategien für die chemische Kinetik bei der Gasphasenabscheidung (CVD) und chemischen Gasphaseninfiltration (CVI) von Kohlenstoff, wobei verschiedene Systeme mit den Hauptkomponenten CH4, C2H4, C2H2 und C3H6 beispielhaft als Eduktgase betrachtet werden sollen. Ausgehend von detaillierten Reaktionsmechanismen für die Gasphasenkinetik und die Deposition werden reduzierte kinetische Modelle entwickelt, die dann zur Simulation des Gesamtsystems in CFD-Programmen (CFD – Computational Fluid Dynamics) implementiert werden.
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche
