Reduzierte kinetische Modelle für die Abscheidung von Kohlenstoff aus der Gasphase
(A 04)
Subject Area
Theoretical Chemistry: Molecules, Materials, Surfaces
Term
from 2005 to 2007
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5482225
Gegenstand dieses Teilprojektes sind Modellreduktionsstrategien für die chemische Kinetik bei der Gasphasenabscheidung (CVD) und chemischen Gasphaseninfiltration (CVI) von Kohlenstoff, wobei verschiedene Systeme mit den Hauptkomponenten CH4, C2H4, C2H2 und C3H6 beispielhaft als Eduktgase betrachtet werden sollen. Ausgehend von detaillierten Reaktionsmechanismen für die Gasphasenkinetik und die Deposition werden reduzierte kinetische Modelle entwickelt, die dann zur Simulation des Gesamtsystems in CFD-Programmen (CFD – Computational Fluid Dynamics) implementiert werden.
DFG Programme
Collaborative Research Centres
