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Professor Dr. Joachim Knoch
Adresse
Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Fakultät für Elektro- und Informationstechnik
Institut für Halbleitertechnik
Sommerfeldstraße 24
52074 Aachen
- Als Antragsteller
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Als Leiter
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abgeschlossene Projekte
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Reaktives Ionenätz-Gerät (Forschungsgroßgeräte)
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Direct Laser-Writer, maskless optical lithography system (Forschungsgroßgeräte)
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Rapid Thermal Processing (RTP) Gerät (Forschungsgroßgeräte)
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Elektronenstrahllithographie Gerät (Forschungsgroßgeräte)
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abgeschlossene Projekte
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Als beteiligter Wissenschaftler
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laufende Projekte
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EXC 2004: Materie und Licht für Quanteninformation (ML4Q) (Exzellenzcluster (ExStra))
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laufende Projekte
- Als Beteiligte Person