Dr. Serhiy Danylyuk

Adresse Fraunhofer-Institut für Lasertechnik (ILT)
Steinbachstraße 15
52074 Aachen

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Realisierung dreidimensionaler künstlicher Ge Quantenpunkt-Kristalle durch Interferenz-Lithographie mit extrem ultravioletter Strahlung und Molekularstrahlepitaxie (Sachbeihilfen)
Als Ehemaliger Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Skalierungsgrenzen einer kompakten EUV-Nanostrukturierungsanlage hinsichtlich Auflösung und Durchsatz - Erkenntnistransfer-Projekt (Sachbeihilfen) bis 2/2020