Project Details

Professor Dr.-Ing. Wolfram Dötzel

Address Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Professur für Mikrosysteme und Medizintechnik
Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz

Projects

As Applicant
- Completed projects
  - Entwicklung einer Strategie zur produktionsbegleitenden Messung in der Silizium- Mikromechanik auf der Basis von Teststrukturen - STRATEST (Priority Programmes)
As Project Head
- Completed projects
  - Komponentenentwurf (Collaborative Research Centres)
  - Experimentelle Charakterisierung - Modelladaption, Zuverlässigkeit (Collaborative Research Centres)
  - Positioniersystem (Collaborative Research Centres)

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