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Institution

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SUSS MicroTec Lithography GmbH

Adresse Schleissheimer Straße 90
85748 Garching
Deutschland

85748 Garching

Projekte

Sonderforschungsbereiche
- abgeschlossene Projekte
  - Laserstrahlbonden von Silizium und Silizium auf Wafer- und Chip-to-Wafer-Ebene
    (Teilprojektleiter Gillner, Arnold )

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