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Institution
Technische Universität Berlin
Institut für Hochfrequenz- und Halbleiter-Systemtechnologien
Fachgebiet Nano Interconnect Technologies (aufgelöst)
Adresse
Gustav-Meyer-Allee 25
13355 Berlin
Deutschland
13355 Berlin
Projekte
Sachbeihilfen
abgeschlossene Projekte
Elektrische Modellbildung, Charakterisierung und Entwurf von Silizium Durchkontaktierungen für Anwendungen in integrierten Systemen
(Antragsteller
Lang, Klaus-Dieter
;
Schuster, Christian
)
Multifunktionale Integration miniaturisierter Satellitenkomponenten zur Erhöhung der Nutzlastkapazität für Kleinsatelliten
(Antragsteller
Brieß, Klaus
;
Lang, Klaus-Dieter
)
Sonderforschungsbereiche
abgeschlossene Projekte
Entwicklung mikrosystemtechnischer Werkzeugmaschinenstrukturen für gewichts- und genauigkeitsoptimierte Gestelle "LEG2O-Gestell"
(Teilprojektleiter
Lang, Klaus-Dieter
;
Uhlmann, Eckart
)
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