Technische Universität Chemnitz
Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik
Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme
Adresse
Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz
Deutschland
GERiT
Diese Institution in GERiT
09126 Chemnitz
Projekte
Forschungsgruppen
abgeschlossene Projekte
Hochminiaturisierte Ermüdungstestplattform zur thermo-mechanischen Charakterisierung und Zuverlässigkeitsbewertung von heterogen- und bottom-up- integrierten nano-funktionalen Komponenten.
(Antragstellerinnen / Antragsteller
Hiller, Karla
;
Wunderle, Bernhard
)
Forschungsgroßgeräte
abgeschlossene Projekte
Focused Ion Beam Rasterelektronenmikroskop (FIB-REM)
Zweistrahl Focused Ion Beam-Rasterelektronenmikroskop
