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Institution
Plasma Electronic GmbH
Adresse
Otto-Lilienthal-Straße 2
79395 Neuenburg
Deutschland
79395 Neuenburg
Projekte
Transregios
laufende Projekte
ParaCoat - Entwicklung von PECVD-Prozessen zur Reduktion von Systemkontaminationen und der Prozessalterung
(Teilprojektleiter
Dahlmann, Rainer
)
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